Der Familienname Benz ist vermutlich aus dem Vornamen Berthold entstanden. Vom Familiennamen Berthold gibt es viele andere Schreibweisen bzw. je nach Gebiet Abkürzungen, so zum Beispiel Barthold, Berthel, Berlt, Perthel, Berch, Birchtel, Birchteler, Bechtle, Bertsch und eben auch aus dem oberdeutschen, alemannischen „Benz“ sowie bayerisch-österreichischen „Penz“ oder „Pentz“.

Alte urkundliche Erwähnungen sind 1334 Benze und 1344 Bentz. Der Name geht jedoch tatsächlich noch bedeutend weiter zurück, denn bereits ab dem 5. Jahrhundert n. Chr. tritt der Sippenname Penzo als altgermanischer Personenname des öfteren in Erscheinung. Dies erschwert es, den Namen sicher zu deuten und hat zur Folge, dass es noch weitere Erklärungsversuche für den Namen Benz gibt. Demnach käme auch der Vorname Bernhard oder Bernhardt für die Ableitung des Familiennamens Benz in Betracht. Andere Forscher meinen Benz könnte auf das langobardische Wort „bandu“ (Kriegsbanner) zurückzuführen sein. Daraus wurde später „bando“ und schließlich infolge einer Lautveränderung Benz. Wieder andere meinen der Ursprung zu Benz ist im althochdeutschen Wort für „Bär“ zu suchen. So soll aus dem ahd. „bero“ über mehrere Zwischenschritte „Benzo“ und „Benz“ entstanden sein. Weitere Erklärungsversuche stützen sich auf das althochdeutsche Wort für Gau: „banz“.

Der Familienname Benz ist eine etymiologische Wortwandlung aus dem Lateinischen = Bencedictus.